本发明公开了一种封闭式自体循环的碱性蚀刻液循环再生系统，它包括依次连接的蚀刻线（1）、中转母液罐（2）、母液罐（3）、
铜离子无损分离系统（4）、再生子液罐（5）、配液罐（6）、过滤器（7）和子液罐（8），铜离子无损分离系统还连接有一提铜装置（9），蚀刻线（1）、中转母液罐、母液罐、铜离子无损分离系统（4）、再生子液罐（5）、配液罐（6）、过滤器（7）、子液罐（8）、提铜装置（9）上均设置有检测对应部件的
检测仪，检测仪与控制器连接，控制器内设置有能将异常信息发给对应负责人的短消息模块。本发明的有益效果是：它具有药液回用率高、安全性能高的优点，实现了蚀刻液封闭式自体循环和平行式无损分离。
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“封闭式自体循环的碱性蚀刻液循环再生系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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