本发明公开了一种用于表面三维形貌测量的白光干涉系统，可对精密元器件提供无损、快速、高精度、电动的表面三维形貌测量。照明模块对光进行准直整形，成像模块将准直整形后的光分为物光和参考光，两束光的反射光合束后干涉，条纹调整和扫描模块调整参考镜的偏转姿态，在干涉条纹满足扫描要求时进行扫描，成像模块将干涉光放大成像后传输给处理模块，处理模块根据图像重现被测样品的表面三维形貌，被测样品利用样品夹持模块固定且利用对焦模块实现对焦，照明模块、条纹调整和扫描模块和成像模块利用系统固定模块固定，整个系统结构设计紧凑，具有体积小、便于集成、易于搬运、适合异地测试等优势，且参考镜的偏转角度可以实现电动精确调节。
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来源：北方有色网
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