本发明公开了一种多孔low?k材料孔隙率的测试方法，通过在二片晶圆上以是否通入致孔剂作为区别条件，分别沉积无孔low?k介质层和多孔low?k介质层，并将计算得到的无孔low?k介质层的密度作为采用质量体积法测量孔隙率时的理想状态下致密无孔low?k介质的真密度，以相对法得到多孔low?k介质层的孔隙率，从而实现对多孔low?k介质层孔隙率的无损测试，消除了现有的质量体积法测量孔隙率时需要破坏样品、步骤复杂及容易失准的缺陷，因此，本发明的测试方法具有操作简单易行、成本低的特点，同时保证了测试的准确性。
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来源：北方有色网
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