本发明涉及用于原位测量MEMS微梁材料的杨氏模量的方法及装置。提供了一种MEMS微梁材料杨氏模量原位测量方法，该方法包括：获取MEMS微梁的结构参数；获取MEMS微梁的吸合电压、固有频率和振型函数；根据MEMS微梁的结构参数、吸合电压、固有频率和振型函数，确定MEMS微梁的厚度；根据结构参数、振型函数、厚度和吸合电压或者根据结构参数、振型函数、厚度和和固有频率，确定MEMS微梁的杨氏模量。其中，结构参数包括MEMS微梁的长度、宽度和高度，高度为MEMS微梁的上表面与位于MEMS微梁下方的底部电极的上表面之间的距离。通过采用上述测量方法，能够在MEMS微梁厚度未知的情况下测量微梁材料的杨氏模量，实现杨氏模量的无损原位测量。
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来源：北方有色网
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