本发明是一种自动变焦三维形貌测量系统及方法，该测量系统由光源照明系统、第一tube透镜、CCD采集系统、第二tube透镜、分光镜、显微镜头和压电陶瓷组成。该测量方法具体是先纵向扫描物体，然后采集一组携带物体高度信息的图片，接着使用基于拉普拉斯算子的聚焦评价函数解析图片得到像素点的聚焦评价函数值曲线，最后结合高斯曲线拟合算法得到像素点准确聚焦的位置，进而恢复物体三维形貌。本发明具有构思合理、测量方式简单、测量系统结构更为简单、无损伤、效率高、适用广等优点，具有广泛的应用前景。
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来源：北方有色网
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