本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种差动共焦(共焦)干涉元件多参数测量方法与装置。本发明的核心思想是利用差动共焦(共焦)测量系统测量球面元件表面曲率半径、透镜顶焦距、透镜折射率、透镜厚度以及镜组轴向间隙,利用面形干涉测量系统测量元件表面面形,可实现元件多个参数的同时测量,测量精度高。本发明首次将差动共焦(共焦)探测系统和面形干涉测量系统相融合,测量参数全面,且在元件多个参数测量过程中,无需重新调整光路,拆卸被测元件,对被测元件无损伤,测量速度快。
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来源：北方有色网
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