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高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法

798   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:58:32
本发明公开一种高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法,包括以下步骤:a、沿玻璃基板的浮法流向,将玻璃基板分隔标记成一组取样矩形块,取样矩形块按照矩形阵列分布;b、每个取样矩形块的中心线作为取样线,取样线与浮法流向垂直;c、采用光学微波纹度检查机对玻璃基板所有的取样线进行扫描,每个取样线的微波纹度代表对应取样矩形块的微波纹度;d、计算所有取样矩形块微波纹度的平均值,该平均值作为玻璃基板的微波纹度平均值;所有取样矩形块中的最大微波纹度,作为玻璃基板的最大微波纹度;所有取样矩形块中的最小微波纹度,作为玻璃基板的最小微波纹度;该方法能够在线、且无损地对玻璃基板的微波纹度进行全面测量,测量效率高,准确度高。
声明:
“高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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