本发明属于显微光谱成像探测技术领域，涉及一种反射式差动共焦CARS显微光谱测试方法及装置。本发明的核心思想是双激光器作为光源激发瑞利光和载有被测样品光谱特性的CARS光，利用二向色分光系统对瑞利光和CARS光进行无损分离，其中瑞利光进行几何探测与定位，CARS光进行光谱探测。本发明利用差动共焦曲线过零点与焦点位置精确对应这一特性，精确捕获和定位激发光斑焦点位置，实现高精度的几何探测和高空间分辨的光谱探测，构成一种可实现样品微区高空间分辨光谱探测的方法和装置。通过结合CARS显微技术，激发出的载有样品信息的拉曼散射光的时间比传统自发拉曼效应要短，能快速无损对样品进行检测。本发明具有定位准确、高空间分辨、无损探测、光谱探测灵敏度高等优点，为微区光谱探测和几何测量提供了一种新的途径。
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来源：北方有色网
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