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用于LED外延片光电参数测试的EL快速测试仪

1170   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:58:27
本实用新型属于半导体光电子器件封测技术领域,公开了一种用于LED外延片光电参数测试的EL快速测试仪,包括P型接触探针支架,所述P型接触探针支架固定有液态金属探针机构,所述液态金属探针机构包括液态金属存储容器、毛细管探针头和金属接触电极,所述毛细管探针头可拆卸安装于液态金属存储容器下端,所述毛细管探针头内部流有液态金属,所述金属接触电极的一端与液态金属接触,另一端连接信号处理系统。采用镓铟合金液态金属探针,使得测试探针与样品表面软接触,不易划伤样品表面,达到无损伤表面接触。并且液态金属在张力的作用下能够有效的控制接触面积稳定性,从而提高测试精度。
声明:
“用于LED外延片光电参数测试的EL快速测试仪” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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