本发明属于光学测量技术领域，公开了一种用于节距移动的测量基底及其制备方法、测量方法。测量基底上设置有测量标记，测量标记包括多个标记单元并构成周期性的第一光栅结构；每个标记单元包括2n个标记线条并构成非对称型的第二光栅结构。制备方法包括设计测量模板、光刻、牺牲层掩膜、沉积、刻蚀。用于节距移动的测量方法包括制备测量基底，采集并根据测量基底产生的+1阶、‑1阶衍射光的光强，获得节距移动的大小。本发明解决了现有技术中针对节距移动的测量手段分辨率较低、测量速度较慢的问题，能够实现高速、无损测量，提高测量的灵敏度和分辨率。
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来源：北方有色网
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