一种用于具有导电属性工件平面度的检测方法和仪器。本发明通过利用导电材料正负极间的间隙效应，极间距离和击穿电压的关系接近直线，间隙击穿电压梯度基本不变的原理，将探针和砂轮及其附属件分布做为正负两极，通过标准件设定最小击穿电压和极间距离的函数，以符合该函数的电压值调整探针与被测件的距离使空气刚好被击穿，测得此时探针的位置，从而得出该点与标准件的误差，通过多点测量得出被测件的平面度，整个测量过程无接触，实现了无损测量。
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来源：北方有色网
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