本发明公开了一种基于阻抗谱的压电器件结构缺陷检测方法，属于电子技术领域，本发明使用了差异因子来量化不同压电器件之间阻抗谱的差异，通过对一批已知合格和已知不合格样品的差异因子作统计，得到可用于缺陷检测的标准阻抗谱以及阈值。测试新样品的阻抗谱并计算其与标准阻抗谱之间的差异因子，通过新样品差异因子与阈值的比较结果，可以判断新样品是否合格。依靠本方法，可以快速、无损的判断压电器件是否合格。
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来源：北方有色网
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