本发明涉及一种超声扫描显微镜检测金属材料内部夹杂物的方法，该方法具体步骤如下：首先，根据被检材料的厚度和检测精度要求进行超声换能器的参数选型；然后，对样品进行逐层粗扫成像获得夹杂物在材料内部的整体分布信息和三维形貌；调整换能器的轴向位置，使其准确聚焦于目标扫查层，进行精细C扫成像获得目标扫查层处夹杂物的平面分布信息；最后，由A扫时域波形获得夹杂物的深度信息，从而确定目标扫查层处夹杂物在材料内部的空间位置坐标。采用上述技术方案，本发明可实现材料内部夹杂物的无损检测，利用计算得到的水声程可较准确的调整换能器竖直高度，实现较高效率及精度的聚焦扫查，进而获得夹杂物在材料内部的准确空间位置。
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来源：北方有色网
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