原子力声学显微镜悬臂梁接触谐振频率检测系统主要用于检测原子力显微镜悬臂梁的接触谐振频率,进而实现原子力声学显微镜的弹性模量成像,属于无损检测领域。本实用新型基于原子力显微镜悬臂谐振曲线峰值对应的电压信号,控制压控振荡器输出谐振中心频率的正弦电压信号激励压电传感器的原理。主要包括与原子力声学显微镜悬臂梁的光电二极管探测器连接的锁相放大器、与原子力声学显微镜的压电传感器连接的压控振荡器(VCO),以及处理频率信号的DSP控制板。DSP控制板控制VCO输出谐振中心频率的正弦电压信号激励压电传感器,得到谐振曲线,进而得到谐振曲线的中心频率,实现了一种自动频率检测系统。
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来源：北方有色网
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