本实用新型属于电子器件检测系统领域，公开了一种电子器件表面缺陷检测系统。所述系统由光源控制模块A、分光干涉光学模块B、样品控制模块C和数据采集分析模块D构成；光源控制模块A产生特定频率的光束，通过分光干涉光学模块B分为等频率等相位的相干光，一束通过样品控制模块C中的被测电子器件表面反射，另一束通过反射镜反射，使两束反射光产生干涉，数据采集分析模块D接收产生的干涉图样。本实用新型的系统可以对电子器件的表面及界面处微小形变进行的非接触式测量，具有高精度、全场、实时、无损检测等优点。
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来源：北方有色网
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