微波陶瓷元器件检测夹具与装置及其检测方法,涉及一种元器件检测装置,提供一种适用性广、无损伤、操作方便、重复性好、价格低的微波共面波导测试夹具、微波陶瓷元器件检测装置和检测方法。夹具设有微波共面波导、样品定位片、检测探针架和SMA接头。微波陶瓷元器件检测装置设有微波网络分析仪、微波共面波导测试夹具、输入同轴电缆和输出同轴电缆。检测方法的步骤为先后进行开路与短路校准检测和匹配负载校准后,进行数据测量,再对被测元器件进行并接检测和串接检测,最后进入相应测试软件,对测试数据分析、计算、处理和保存。
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来源：北方有色网
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