透镜面形偏差检测装置及其方法,涉及小型球面干涉仪。分光器正下方设置的扩束整形装置、检测光源、分光器正右方的光学样板、正左方的观察接收屏、分光器正上方的定位圈口、待测透镜组成,定位圈口管状体上端面固定有三个钢球,扩束整形装置的光束的中心轴线与光学样板的光轴相交于分光器的接和面上,观察接收屏垂直于光学样板的光轴。优点在于:先给定位圈口定位再作检测,光学样板代替价格昂贵的标准镜头产生干涉的参考波前,实现对透镜球面曲率半径的测量,不能长导轨快速无损非接触在线检测。定位圈口的钢球使透镜基准面或待测面处于同一个三角形的几何中心垂线上,定位后,待测透镜时不用进行再调节就可以得到干涉条纹,提高了检测效率。
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来源：北方有色网
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