本实用新型公开了一种汽车轴承自动化无损检测用凹型128信号源的相控阵超声波探头，包括背衬材料、压电晶片及匹配层材料，所述的压电晶片上表面通过磁控溅射镀有上电极层2‑4，压电晶片下表面通过磁控溅射镀有下电极层，所述的压电晶片和匹配层材料用环氧粘接在一起，并真空箱中抽真空去除气泡，压电晶片和匹配层材料的组成叠层结构，所述的匹配层材料声阻抗为5兆瑞利，声速2800m/s，压电晶片和匹配层材料的组成叠层结构等间距切割成128个阵元，切割厚度只切穿压电晶片的上电极层，不切穿下电极层，所述的上电极层引出128个信号引线，引线接入同轴电缆，同轴电缆上固定有护线套。
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来源：北方有色网
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