本实用新型涉及一种无损检测平面物品表面的装置,其特征在于:激光器的光轴与被测物品的中心轴线呈0.01°～20°角度放置,在激光器的光轴上与被测物品之间设置显微物镜;在被测样品反射光束的中心轴线上依次设置剪切角固定的光楔、凸透镜和线阵CCD;线阵CCD固定于一维方向移动微位移平台上,线阵CCD采集的图像信号输出至计算机,计算机的控制信号输出至一维方向移动微位移平台控制一维方向移动微位移平台的移动。利用线阵CCD推扫方法,可以根据待测样品表面设计相应的微位移平台的移动轨道,沿所述移动轨道推扫得到的散斑图消除了散斑像的离焦现象,从而有效提高了缺陷检测的灵敏度。
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来源：北方有色网
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