一种光栅表面质量无损检测方法和装置,其核心主要是采用平行光照明待测光栅时,在该光栅的整数泰伯距处形成光栅的泰伯像,然后用纳米光纤探针扫描该泰伯像,并将探测的光信号转变成电信号,再由计算机进行数据处理,即可获得该光栅的周期、均匀性、直线度和整体均匀性等参数,本发明的方法将会成为高密度光栅表面质量检测的一种有用新方法,具有重要的学术价值和应用前景。
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来源：北方有色网
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