本发明公开了一种无损检测产品表面颗粒污染物的装置，包括密闭耐压容器，用于提供容置所述待测产品的密闭的收容空间；压缩空气供给设备，通过第一连接管与所述密闭耐压容器连接，用于将可使得所述颗粒污染物脱离所述待测产品的压缩空气送入所述密闭耐压容器；空气扩散器，通过第二连接管与所述密闭耐压容器连接，用于将所述压缩空气的流量调节至便于空气粒子计数仪检测的额定值；所述空气粒子计数仪，通过第三连接管与所述空气扩散器连接，用于检测流出所述空气扩散器的压缩空气中单位体积内颗粒污染物的粒子数和粒径分布。由此，可以实现对待测产品表面的颗粒污染物(尤其是亚微米级疏松颗粒污染物)进行无损准确的定量测量。
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来源：北方有色网
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