一种集成电路红外显微无损
检测仪属于非接触式红外显微无损检测及红外图像处理技术领域。该检测仪包含三个处理模块：红外热辐射采集模块、红外显微热像采集模块、红外热像预处理模块。集成电路作为辐射源，从辐射源开始分别包括：集成电路、红外准直透镜组、矩形光阑、红外显微镜头阵列、成像透镜、高分辨率红外热像仪、计算机。设计了一种显微镜头阵列，采用阵列式显微镜头，组成阵列的单个镜头可分别采集集成电路各个区域的辐射信息，分区域提取集成电路内部详细的红外辐射信息，细微的辐射信息在会热像仪上成像，经计算机图像的预处理后可以得到集成电路内部的辐射分布，可以完成大规模集成电路的无损缺陷检测。
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“集成电路红外显微无损检测仪” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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