一种用于化学气相沉积(CVD)腔室的温控喷淋头增强热耗散,以实现用电加热器来进行准确的温度控制,所述喷淋头包括:杆,其具有对流冷却流体通路;背板,其热耦合到所述杆;加热器,其物理附接到所述背板;面板,其热耦合到所述背板;以及温度传感器,其用于测量所述面板的温度。热量通过穿过喷淋头杆和流体通路的传导以及从背板的辐射而耗散。温度控制系统包含位于CVD腔室中的一个或一个以上温控喷淋头,其具有串联连接到热交换器的流体通路。
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来源：北方有色网
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