本发明公开了一种基于Pd/MoOx纳米粒子组装结构的乙醇气敏材料及制备方法、传感器件，本发明的Pd/MoOx纳米组装材料利用团簇束流沉积技术制备，利用双靶团簇溅射源，在带有绝缘衬底的叉指电极表面先后沉积Mo纳米粒子和Pd纳米粒子，在空气中经过陈化后即可得到不同质量比例的Pd/MoOx混合纳米粒子组装材料；即可利用该材料实现乙醇浓度的定量测量。本发明与其他现有技术相比，本发明涉及的钼氧化物和钯混合纳米粒子组装材料具有更多的吸附氧含量性质，且由于Pd纳米粒子对乙醇的化学修饰以及协同催化作用，混合纳米组装材料相比于单一的MoOx具有更多的活性位点，可以在较低的温度下对乙醇实现高灵敏度和快速响应的感知。
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来源：北方有色网
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