一种多孔二氧化
锡(SnO2)多层纳米薄膜及其合成方法，属气敏传感材料和气敏传感制备的技术领域。该薄膜为多层依次沉积在单晶硅基底上的多孔二氧化锡纳米薄膜，层数为6～12层。以金属无机盐SnCl2·2H2O和无水乙醇分别为前驱体和溶剂，经过制备用来制作二氧化锡纳米薄膜的溶液、加入表面活性剂、制备溶胶、匀胶、退火和得成品六个步骤，将多层多孔二氧化锡纳米薄膜依次沉积在单晶硅基底上，制得成品，多孔二氧化锡多层纳米薄膜。所述的方法工艺简单，能制得化学稳定性好、功耗小、比表面积大和气敏灵敏度高的多孔二氧化锡多层纳米薄膜。所述的薄膜适于用来制作测量微量气体的气敏传感器。
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来源：北方有色网
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