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具有电容式剪力传感器的抛光系统

1070   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:56:57
一种化学机械抛光系统包括:压板,用以支撑抛光垫;承载头,用以保持基板并且使基板的下表面与抛光垫接触;和原位摩擦监测系统,包括摩擦传感器。摩擦传感器包括:垫部分,所述垫部分具有基板接触部分,基板接触部分具有与基板的下表面接触的上表面;和一对电容式传感器,位于基板接触部分的下方并且位于基板接触部分的相对侧上。
声明:
“具有电容式剪力传感器的抛光系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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