本发明涉及原子层沉积领域，具体是一种原子层沉积设备，包括等离子体发生器，所述等离子体发生器上端设有管道，等离子体发生器下端通过连接管道连接有反应腔，反应腔顶部设有支撑架，反应腔左侧安装有进源管道。本发明原子层沉积设备结构简单，易操作；同时利用本发明原子层沉积设备制备直接甲醇燃料电池阳极催化剂的方法，高效、易实现，制备出产品具有高比表面积、优异催化性能的优点。进而解决了直接用氧化
石墨烯做载体，电池的
电化学性能测试并不能达到理想效果的问题。
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来源：北方有色网
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