将反应气体从供应源发放到筒反应器的反应室以便进行化学汽相淀积的射流组合件,具有一个装在筒反应器上的喷嘴和一个与喷嘴连接的定位装置,后者可用来使喷嘴相对于筒反应器绕枢轴旋转,从而改变气体射流进入反应室的方向,定位装置的构造成使喷嘴相对于筒反应器的位置能够定量地测出,从而能够重现地瞄准喷嘴,以便选择反应气体射流进入反应室的方向。
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来源：北方有色网
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