本发明涉及一种用于氯气刻蚀烘烤设备的反应罩，该反应罩由耐温、隔热并具有高透光性的材料整体制成，并在其顶面设有用于容纳温度测量装置的第一管和供气体进入的第二管。第二管通入到设置在反应罩内的多层孔板结构，第一管穿透多层孔板结构而通到反应罩内部。多层孔板结构至少包括分层排列的第一和第二孔板，第一和第二孔板上分别分布有构成第一和第二图案的多个孔。本发明的反应罩为氯气刻蚀烘烤设备提供合适的反应空间，以保证氯气刻蚀烘烤设备为金属有机化学气相沉积设备提供可重复利用的清洁石墨盘和刻蚀清洁的外延衬底片，从而在充分清洁石墨盘表面和外延衬底片的沉积物的同时，改善外延片的生长成品率和衬底片的重复利用率。
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来源：北方有色网
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