本发明公开了一种锆钛酸钡薄膜压控变容管的制备方法，先按BaZr
0.2Ti
0.8O
3的化学计量比，称取原料BaCO
3、ZrO
2和TiO
2，于1200℃烧制BaZr
0.2Ti
0.8O
3即BZT靶材；再将Pt‑Si衬底放入脉冲激光沉积制品台上，将脉冲激光沉积系统的本底真空抽至P＜4.0×10
‑4Pa，然后加热衬底至350～750℃；打开进气阀，向系统中通入氧气，在Pt‑Si衬底上沉积得到厚度为150‑300nm的BaZr
0.2Ti
0.8O
3薄膜；再在BaZr
0.2Ti
0.8O
3薄膜上面利用掩膜版制备金属电极，制得锆钛酸钡薄膜压控变容管。本发明锆钛酸钡薄膜压控变容管的调谐率≥60％，测试频率为100kHz，且器件稳定性好，制备工艺简单、电学性能优良，具有良好的应用前景。
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来源：北方有色网
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