本申请公开了一种测量包括用于车辆流体在内的流体压力的压力传感器设备和组装测量流体压力的压力传感器的方法。压力传感器包括用于压力测量的MEMS模具。该MEMS模具附接在玻璃底座元件上。该底座元件经由能够附接在流体容纳腔压力端口的安装框架来机械保持在位。这里的技术提供了MEMS模具与压力传感器的坚固连接，同时从MEMS模具解除热膨胀应力。采用该解除技术，压力测量可靠性和精度都得以改善。由于从MEMS模具解除热膨胀应力，选择传感器密封材料主要考虑自身的鲁棒化学特性，而不是结构特征。这项技术还提供了精确，持久耐用并且成本效率高的压力传感器。
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来源：北方有色网
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