本发明公开了一种基于器件性能的RESURF功率器件结构自动优化方法，包括：S1：设定结构参数范围，获取不同结构预测器件性能的数据集，训练由器件结构预测器件性能的神经网络模型；S2：设定目标函数为器件理想性能与预测性能之间的误差函数；S3：在选取器件结构参数范围内，初始化结构选取，预测选取结构的性能，计算目标函数值并将其反馈给结构优化选取模型，优化选取结构的模型，重复优化选取结构过程直至给出满足预期性能指标的器件结构。本发明利用贝叶斯优化，强化学习等方法，使用器件性能指标，能够精确、简单快速的进行器件结构的自动优化，并且降低了成本。本发明优化的器件结构，其性能指标相对于实际理想值偏差均值在5％左右，精确度较高。
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来源：北方有色网
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