本实用新型公开了一种维持室内污染物浓度稳定的洁净室，可用于低温
多晶硅薄膜晶体管液晶显示器厂房的洁净室，包括洁净空间和回风通道；所述洁净空间从上到下包括架构空间、洁净空间和循环空间，架构空间和洁净空间之间设有天花板；所述天花板上设有复数个风机滤器单元；所述循环空间和/或回风通道内设有复数个过滤单元，所述过滤单元包括化学过滤器和风机；还包括污染物浓度监测机构和控制系统。本实用新型的洁净室可以用于低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器厂房，在循环空间和/或回风通道内设有复数个过滤单元，从而将化学过滤器过滤的洁净空气和直接从洁净空间出来的空气进行预混合，因而实现了维持洁净空间内污染物浓度恒定的控制。
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“维持室内污染物浓度稳定的洁净室” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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