本发明公开了一种高效、高精度温控红外石英加热器。包括卤钨灯、吹扫组件、石英加热组件、温度传感器和控制器，石英加热组件的两端各安装有吹扫组件，石英加热组件的内部安装有卤钨灯，卤钨灯的两端分别与石英加热组件两端的吹扫组件相连，石英加热组件内设置有加热液，温度传感器固定安装在石英加热组件的加热液出口处，温度传感器和卤钨灯均与控制器相连。与现有技术相比，本发明可以精确测量加热液温度，提高加热效率并且通过吹扫组件延长卤钨灯寿命，节约更换灯管的经济成本和时间成本。化学品液体润湿表面均为半导体级石英玻璃，耐腐蚀能力强，能够满足半导体湿法处理领域所需化学品的高洁净度、快速响应等加热需求。
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来源：北方有色网
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