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Cr2O3晶体的制备方法

746   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:23:04
本发明涉及一种Cr2O3晶体的制备方法,包括如下步骤:以铬前体材料为反应源,以卤素为辅助材料,将衬底置于生长区;以及在常压和保护气体氛围下,以氢气和所述保护气体的混合气体作为工作气体,加热衬底和所述反应源,在所述衬底上化学气相沉积形成Cr2O3晶体。经过测试验证,上述Cr2O3晶体的制备方法通过卤素(碘)辅助控制化学气相沉积方法,制得的Cr2O3晶体的横向尺寸达到微米级(3μm~5μm)。
声明:
“Cr2O3晶体的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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