基于夹固振膜结构的微声学器件及其制作方法,涉及一种微声学器件的结构设计。该器件由硅衬底和设置在其上的复合膜构成,所述的复合膜由底层向上依次为硅层、热氧层、氮化硅层、低温淀积的二氧化硅层、金属钛粘附层、金属铂下电极层、锆钛酸
铅铁电薄膜层、金属铂上电极层、等离子化学气相淀积的二氧化硅层、金属
铝引线层,该复合膜的四周与硅衬底固结在一起。本发明由于采用了四周夹固的振膜结构,并通过优化设计膜层的尺寸,因而有效克服了微声学器件悬臂振膜结构存在的缺陷,具有结构坚固、性能可靠、成品率高的突出性特点。测试表明,其声学灵敏度在10mV/Pa量级,能够满足移动电话、助听器和其他数字通讯系统音频应用的需要。
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来源：北方有色网
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