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用于红外光电的铅盐薄膜结构及其制备方法

1011   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:17:31
本发明属于光电子器件领域,具体涉及一种用于红外光电的复合结构盐薄膜及其制备方法。基底、物理气相沉积法制备的铅盐晶粒层、化学法制备的小晶粒铅盐;所述铅盐晶粒层覆在所述基底上,铅盐晶粒之间存在缝隙;所述小晶粒铅盐嵌入所述缝隙之中;所述铅盐薄膜为硫化铅或硒化铅;所述基底为石英衬底或蓝宝石衬底或含氧化层硅片;所述制备方法是通过物理气相沉积法及化学法相结合而制成。本发明提供的复合结构铅盐薄膜结构更加致密,均匀性高;退火处理后的复合结构铅盐薄膜作为光电探测器噪声小,比探测率高,制备方法耗时短,工艺简单。
声明:
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