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有机蒸镀源陶瓷坩埚洗净再生方法

1138   编辑：管理员   来源：北方有色网  
2023-03-19 08:14:39
本发明公开了一种有机蒸镀源陶瓷坩埚洗净再生方法，包括以下步骤：步骤10、受入检查；步骤20、化学清洗；步骤30、预干燥；步骤40、高温烘烤；步骤50、纯水浸泡；步骤60、烘干。本发明采用化学液洗+高温烘烤方式去除有机蒸镀源陶瓷坩埚内部残余膜质，可保证清洗效果。
声明：
“有机蒸镀源陶瓷坩埚洗净再生方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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