本发明公开了一种纳米级超微电极及超微传感器的制造方法。本发明采用离子束刻蚀技术,制得的电极尺寸的最小直径可达30nm。和已有的制备技术相比,用本法制备的纳米电极具有尺寸可控。由于采用离子束将电极表面的原子一个个打掉,电极的表面干净、光滑,具有分子级的平整度;电极机械强度高,可用于单个细胞内的测试。提出用电聚合绝缘化方法,制得了纳米级盘电极。电极的
电化学性能优良。提出在真空情况下封合支撑体与电极材料的方法,避免了电极的污染。首次在纳米电极上进行化学修饰,制备成功了纳米级超微pH传感器。
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来源：北方有色网
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