本发明涉及超声扫描显微镜检测领域和超声波成像领域，尤其是一种用于超声扫描显微镜的可变频变焦换能器制作方法，其特征在于：1）利用微机械加工工艺在单晶硅上获得曲率半径不同的五个自聚焦曲面；2)采用低压化学气相沉积法分别在上述自聚焦曲面上沉积五种不同厚度的ZnO压电薄膜晶片，薄膜之间相互分开；3）通过单独引出的电极选择性激励各ZnO压电薄膜晶片，获得频率可调的超声波；4）将五种不同厚度的压电薄膜晶片封装为一个整体，并用SAM电子连接器连接形成变频变焦的换能器。本发明通过五种不同曲率半径的自聚焦曲面获得五种不同的焦距，并通过各自引出的电极选择性激励其中任意厚度的压电薄膜晶片即可实现超声换能器的变频变焦功能。
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来源：北方有色网
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