本发明属于化学气体的储存和控制技术领域，更具体地，涉及一种高纯气体缓存、调节以及输送柜。采用可拆卸的分隔板和管道安装板可以将气柜做的很小的情形下，很便利的对不同功能区的气体元件进行安装、检修和更换；采用保温单元和密封条的组合可以确保不同的单元区气体和温度环境保持独立、确保每个功能区的温度精细控制，另外使用的材料不会有颗粒的产生，保证了洁净度；采用高纯氮气对每个功能区保持微正压，可以避免空气中的粉尘、水汽进入柜体，给气体元件营造一个高洁净度、低湿度的环境；采用排风口，可以在检测到有泄漏时及时开启排风抽走而不用打开柜门，尽可能降低环境污染和对操作人员的伤害。
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“高纯气体缓存、调节以及输送柜” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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