本发明公开一种微传感器及其制备方法。该微传感器的结构为:衬底为表面带氧化层的硅片,在衬底上设置有二个碳MEMS电极,在二个碳MEMS电极之间的距离为1～10ΜM,碳MEMS电极的厚度为1～100ΜM;
碳纳米管架设于二个碳MEMS电极之间,碳纳米管的直径为10～30NM。其制备方法是在衬底上利用光刻胶经热处理碳化制作碳MEMS电极,在碳MEMS电极利用介电电泳和退火处理将碳纳米管定位在碳MEMS电极之间。本发明克服了传统电极的传感器受衬底影响大、不能探测空间位置的缺点,并具有良好的高密度集成的潜力,在生物化学医药环境检测和监控特别是微流体测量中具有广泛的应用前景。
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来源：北方有色网
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