本发明涉及一种超高纯气体纯化装置及纯化方法，属于气体纯化技术领域。该装置包括加热器、催化氧化器、水冷却器、第一高效脱氧器、第二高效脱氧器和分子筛吸附器等结构，原料气首先进入加热器加热，然后进入催化氧化器中催化氧化，之后经催化氧化的气体进入水冷却器中与冷却水进行热交换，接着进入第一高效脱氧器或第二高效脱氧器脱除氧气，然后进入分子筛吸附器中吸附，最后进行检测，如果检测合格，则得到超高纯气体，本发明结合催化氧化、化学反应、物理吸附三种原理，深度纯化原料气体，除去普通气体中的C5以上烃类组分，达到超高纯级别，满足特殊仪器的用途，实现了超高纯气体的批量化生产，提升净化效率，增加超高纯气体的产量。
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来源：北方有色网
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