本发明适合于各种含气装置或器件作气体微量 抽样分析之用。阀门的关键部分是一具有孔径小达 10微米以下的微漏孔的玻璃片。这个微漏孔是通过 高速钻削、化学腐蚀和电击穿三道工序制作而成的。 阀门的开闭由一碗状弹性
隔膜带动一弹性圆块对微 漏孔进行紧压封闭和开启。本发明具有抽样气体极微漏率稳定、开闭容易、 不易堵塞、质量岐视小，受环境温度影响小等优点， 并且具有标准漏孔所具有的特性。
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来源：北方有色网
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