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换液监控装置

1126   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:36:53
本发明提供一种换液监控装置,通过在蚀刻机台的药液循环管路上设置取样管和电化学工作站,通过取样管对药液进行取样,通过电化学工作站对药液进行电化学分析,得出所述药液的离子浓度范围,从而根据所述药液的粒子浓度范围判断是否需要换液,准确把控换液节点,避免药液浪费或产品制程异常。
声明:
“换液监控装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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