本发明属于柔性应变传感器制作领域，柔性应变传感器需具备良好的延展性、高的灵敏度、宽检测范围，现有的高灵敏的柔性应变传感器存在检测范围低，制作方法复杂等问题；而具有较大的检测范围的应变传感器存在灵敏度低，检测下限高等问题，本发明提供一种高灵敏度柔性应变传感器的制作方法，通过等离子增强化学气相沉积系统，利用三维化二维材料力学性能和网状结构，使网状基底上的三维化二维材料为基础制作的传感材料在受到应力而导致应变时产生应变集中效果，产生敏感的拉力响应，实现对传感材料的微小应变的检测，提升了应变传感材料的灵敏度和力学性能，实现更大范围的应变响应。
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来源：北方有色网
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