本发明公开了一种晶圆转速监控装置，包括一安装于化学机械抛光平坦化机台的清洗槽内的激光传感器装置；激光传感器装置包括：激光发射器、激光检测器和测量处理系统，激光发射器和激光检测器相对设置在所述晶圆的两侧，所述激光检测器用于接收所述激光发射器发射的激光束；所述晶圆上开设有一开口槽，晶圆在转动中，当所述开口槽转至与激光发射器的激光发射口处于同一水平位置时，激光发射器发射的激光束通过该开口槽被激光检测器接收，激光检测器根据接收的激光束生成一检测信号并发送给测量处理系统，测量处理系统根据激光检测器接收激光束的时间间隔，计算得到晶圆的实时转速，本发明能够及时准确的监控到晶圆转速的异常情况。
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来源：北方有色网
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