本发明公开了一种有机发光显示器蒸镀用掩膜的电铸制作方法,依次有以下步骤:芯模准备→芯模前处理→贴膜→曝光→显影→除油→水洗,其特征在于:还依次有以下后续步骤:活化/钝化→水洗→电铸掩膜→水洗→褪膜→剥膜→丝网粘接→成品检测→成品包装。本发明采用电铸技术可以制作厚度在0.05mm以下的OLED蒸镀用高精度掩膜,由于是基于应用
电化学的电沉积原理,通过在芯模上电沉积某一金属或合金,因此掩膜板开孔均匀一致,孔壁光滑无毛刺,无侧向腐蚀,有利于发光材料完全转移到ITO表面,显著提高制品精度,开孔公差达到±0.005mm,幅面为370mm×470mm的掩膜板的孔间位置公差仅为±0.008mm。
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来源：北方有色网
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