本发明公开了一种液相原子力显微镜探头。于它依次具有激光器及位置敏感元件(PSD)组成的光电检测系统、XYZ压电陶瓷、气液隔离盘及微悬臂探针组成的扫描与反馈控制系统,以及由样品、样品座、液体池和升降台组成的可升降液相单元。本发明液相原子力显微镜探头结构简洁,技术条件易于实现,广泛适用于导体、半导体和绝缘体样品,既可以在空气中测量,又可以在液体甚至
电化学环境下进行实时观察和测量,可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。
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来源：北方有色网
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