本发明公开了一种
碳化硅基集成微型化磁通门传感器，包括碳化硅衬底、激励线圈、检测线圈、磁芯、电极和碳化硅薄膜；其中矩形磁芯位于碳化硅衬底表面的矩形凹槽内，磁芯上表面与碳化硅衬底表面平齐；激励线圈和检测线圈均为微机电三维螺线管线圈，激励线圈和检测线圈的底层线圈位于矩形凹槽底部的微槽阵列内，底层线圈的通电导线之间由微槽阵列间隙的碳化硅衬底绝缘，底层线圈通过化学气相沉积碳化硅薄膜与磁芯绝缘；激励线圈和检测线圈的顶层线圈通过化学气相沉积碳化硅薄膜与磁芯绝缘，顶层线圈的通电导线间隙由化学气相沉积碳化硅薄膜填满绝缘；传感器表面由化学气相沉积碳化硅薄膜覆盖与空气隔离保护，并通过通孔露出电极。
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来源：北方有色网
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